隨著人們對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)的要求提高以及高精尖產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,高潔凈度的凈化車(chē)間遍地開(kāi)花,其中達(dá)到10萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間標(biāo)準(zhǔn)的車(chē)間是食品、制藥、電子光學(xué)等生產(chǎn)活動(dòng)的良好潔凈環(huán)境。那么,10萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間標(biāo)準(zhǔn)具體指什么呢?它對(duì)于生產(chǎn)活動(dòng)的影響有多大呢?下面為您介紹。
大家都知道,空氣中懸浮著眾多的塵粒和微生物,雖然肉眼看不到它們,但它們的危害是不容忽視的,一粒塵埃便可以毀掉成千上萬(wàn)的芯片,一個(gè)細(xì)菌在10小時(shí)內(nèi)便可繁殖超過(guò)10億個(gè),車(chē)間凈化的目的便是控制它們的數(shù)量,從而保證生產(chǎn)活動(dòng)的正常進(jìn)行。
10萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間標(biāo)準(zhǔn),顧名思義,按塵粒數(shù)目和微生物數(shù)目來(lái)定義的,塵粒最大允許數(shù)(每立方米)大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)350000個(gè),大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)2000個(gè);微生物最大允許數(shù):浮游菌數(shù)不得超過(guò)100個(gè)每立方米,沉降菌數(shù)不得超過(guò)3個(gè)每培養(yǎng)皿。
一根頭發(fā)絲的直徑約為70~100微米,細(xì)菌的大小約為1微米~2微米,煙塵的微粒直徑還不到1微米,因此,達(dá)到10萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間標(biāo)準(zhǔn),控制的是0.5微米的粒子,是比頭發(fā)絲小的多的微粒,可以滿足生物制藥、食品生產(chǎn)等活動(dòng)的需要。
對(duì)于高標(biāo)準(zhǔn)的微電子生產(chǎn)車(chē)間來(lái)說(shuō),10萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間標(biāo)準(zhǔn)偏低。在微電子技術(shù)中,在只有頭發(fā)絲直徑大小的硅片上,當(dāng)線寬為1微米時(shí),就可以容納400個(gè)晶體管;如線寬為0.5微米,晶體管可達(dá)1500個(gè);線寬減到0.25微米,則晶體管可達(dá)4500個(gè)以上。一粒塵埃便會(huì)有1微米,這對(duì)于0.25微米的硅片來(lái)說(shuō),便是一顆巨型炸彈。因此,為微電子車(chē)間需要更高的千級(jí)、百級(jí)凈化。
從標(biāo)準(zhǔn)中也可看出,凈化車(chē)間的潔凈度是分等級(jí)的,而且并不是把車(chē)間內(nèi)所有的粒子都消除,而是控制在合理的范圍內(nèi)。凈化車(chē)間工程也要因時(shí)因地制宜,不必過(guò)分追求潔凈標(biāo)準(zhǔn),加大的工程成本,也增加了凈化車(chē)間運(yùn)行成本。